Badanie przypadku: Tłuszcz do pieca krzemionowego Amy
Publikacja:: June 24, 2026
1- Historia klienta.
Producent 8-calowych półprzewodników mocy wykorzystuje piece difuzyjne pionowe o temperaturze 1050°C do utleniania i dopingu.Przepuszczalność podczerwona i odporność na dewitryfikację.
2Oryginalne problemy z zwykłymi rurami silikonowymi
Stare lampowe lampy JGS1 powodowały wiele wad produkcyjnych:
- Wysoka zawartość OH prowadzi do słabej penetracji podczerwieni i nierównomiernego pola temperatury, obniżając wydajność płytki.
- Wysokie zanieczyszczenia metalowe powodują szybkie odwitrażowanie i częste pęknięcia; rurki muszą być wymiane co 45 dni.
- Maty orzechy polerowane płomieniem powodują słabą uszczelnienie próżniowe i niestabilne stężenie gazu procesowego.
3Optymalizowane rozwiązanie: FS03 Rury krzemionowe
- Materiał: FS03 kwasu krzemianowego stopionego pod próżnią, SiO2 ≥ 99,995%, OH− < 10 ppm, bardzo niskie zanieczyszczenia.
- Powierzchnia: całkowicie przezroczyste polerowanie lustrzane w przypadku rur, obwodów i orzechów kwarcowych (bez polerowania płomieniem).
- Struktura: ściana pogrubiona, spawanie bez naprężenia dla wysokiej odporności na wstrząsy cieplne.
4. Wyniki badań i produkcji
- Różnica temperatury wewnątrz pieca zmniejszona z ±12°C do ±3°C.
- Wydajność płytki wzrosła o 6,8%; okres użytkowania przedłużony z 45 dni do 180 dni.
- Utrata wycieku próżni zmniejszyła się o 95%; zmniejszyła się liczba przerw w produkcji w celu wymiany rur.
5Wniosek
FS03 przejrzyste polerowane rurki piecowe rozwiązują ryzyko jednorodności temperatury i zanieczyszczenia, obniżają koszty utrzymania i zwiększają stabilną produkcję masową półprzewodnikowych procesów cieplnych.
