Niestandardowy przypadek projektu rurki kwarcowej z kołnierzem o wysokiej czystości | Rura z topionej krzemionki ze zintegrowanym kołnierzem do półprzewodnikowego pieca rurowego CVD Reactor próżniowy-sara
Publikacja:: June 22, 2026
Przypadek projektu: Niestandardowa wysokiej czystości płaszcza kwarcowa szklana
Przegląd sprawy
W tej sprawie chodzi o specjalną produkcję płaszczyzowych rur kwarcowych dla zagranicznego producenta sprzętu półprzewodnikowego.Rury z roztopionego krzemianu, odporne na wysoką temperaturę, z wbudowanymi flanżami kwarcowymi do ich komory reakcji CVD i pieca grzewczego o wysokiej temperaturzeZapewniliśmy pełną indywidualną personalizację, w tym rozmiar rury, układ otworu śrubki, grubość ściany i wysokiej temperatury,Rozwiązywanie długotrwałych problemów z wyciekiem rurociągów, wysokie zanieczyszczenie zanieczyszczeniami i częste pęknięcie rur podczas cyklu termicznego.
Wątpliwości klientów przed współpracą
- Oryginalne rury z borosilikatów ze szkła zdeformowane w temperaturze roboczej powyżej 900°C, powodując wyciek złącza flanszowego i niestabilne środowisko próżniowe.
- Zwykłe spawane rurki kwarcowe bez grzania łatwo pękają po wielokrotnych cyklach zimnych i gorących, wysokich kosztach wymiany i utraty czasu przestoju produkcji.
- Niekontrolowana tolerancja wymiarowa brzytów, słabe dopasowanie do metalowych uszczelniaczy klienta, niska wydajność obróbki.
- Niski poziom czystości surowca kwarcowego spowodował zanieczyszczenie jonami metalowymi, wpływając na precyzję przetwarzania płytek.
Nasze niestandardowe rozwiązanie dla rur kwartowych
- Wybór materiału: zastosować 99,99% syntetycznej wysokiej czystości roztopionej krzemionki z niską zawartością hydroksylu, bez zanieczyszczeń metalowych, kompatybilny z półprzewodnikiem ultra czysty proces.
- Zintegrowana paska spawalniająca na gorąco: integracja paska kwarcowego na jednym / obu końcach korpusu rur, wysokiej wytrzymałości szwy spawalniczej, całkowicie wygrzewana w celu wyeliminowania napięcia wewnętrznego, odporna na wstrząs cieplny.
- Precyzyjne obróbki CNC: Niestandardowa średnica zewnętrzna, grubość ściany, długość rury, średnica zewnętrzna flanszu, położenie otworu śrubki i otwór z ścisłą tolerancją ± 0,02 mm.
- Powierzchniowa obróbka: płomień polerowane wewnętrzne i zewnętrzne ściany rur, gładkie bez pęcherzyków, zadrapań lub mikro-pęknięć, doskonała przepuszczalność UV i światła widzialnego.
- Dostosowanie strukturalne: Wsparcie dla pojedynczej płaszczyzny, podwójnych płaszczyzn, zamkniętej dolnej kopuły, grubej ściany, odpornej na wysokie ciśnienie struktury zgodnie z wymaganiami rysunku klienta.
Dostarczenie i rzeczywisty wpływ operacji
Zakończyliśmy potwierdzenie próbki, zamówienie próbne i masową produkcję w ciągu 12 dni roboczych, zakończyliśmy pełną inspekcję wymiarową, test starzenia się w wysokiej temperaturze i test szczelności próżni przed wysyłką. Po instalacji przez klienta i długotrwałej ciągłej eksploatacji:
- zerowe wycieki w warunkach wysokiej próżni i ciągłej temperatury roboczej 1150°C;
- Brak pęknięć po 100+ testach cyklu termicznego, wydłużony okres użytkowania o ponad 3 razy;
- zerowe opady zanieczyszczeń, zwiększona o 16% wydajność produktu płytkowego;
- Standardowy rozmiar flanszy doskonale pasuje do istniejących części zacisku i uszczelniających klienta, znacznie skracając czas montażu sprzętu.
