Wysokiej przejrzystości Zliwiony krzemionka obserwacji okna dysku szklanej płyty kwarcowej dla Singapuru półprzewodnika-Mia

Przegląd projektu

• Klient: Singapurowy producent komponentów urządzeń próżniowych półprzewodnikowych

• Produkt: Wysokiej czystości płynki krzemianowej obserwacyjne okna dyski (kręgowe optyczne elementy widokowe)

• Dostawca: Lianyungang Shengfan Quartz Products Co., Ltd.

• Materiał: Wysokiej czystości roztopiona krzemionka (czystość SiO2 ≥ 99,99%, niska zawartość hydroksylu)

• Zastosowanie: Okna obserwacyjne do komór próżniowych w półprzewodnikowym sprzęcie do grafowania plazmowego i osadzania cienkich folii, stosowane do wizualnego monitorowania procesu w czasie rzeczywistym i kontroli optycznej

• Podstawowe procesy: Precyzyjne cięcie płytek kwarcowych, obustronne optyczne obróbki i polerowanie, rozwijanie krawędzi, kontrola wymiarów.

Pierwotne punkty bólu

1Niewystarczająca przepuszczalność standardowych punktów widzenia ze szkła wpływająca na dokładność monitorowania procesu

Wcześniej klient używał standardowego szkła hartowanego o niskiej zawartości żelaza jako okien obserwacyjnych w komorach próżniowych.Przepuszczalność światła gwałtownie spadła w spektrum ultrafioletowym do bliskiej podczerwieni (zwłaszcza poniżej 300 nm)To uniemożliwiło dokładne obserwowanie stanów plazmy i warunków powierzchni płytki podczas przetwarzania, co zagrażało terminowości i dokładności regulacji parametrów procesu.

2Niezgodność rozszerzenia termicznego powodująca awarię w wysokiej temperaturze

Procesy etsu i osadzenia półprzewodników wymagają częstego cyklu temperatury komory.o pojemności nieprzekraczającej 50 cm3W przypadku powtarzających się cykli termicznych powstały pęknięcia naprężeniowe, których średnia żywotność wynosiła mniej niż 6 miesięcy.

3Niewystarczające wykończenie powierzchni wpływające na dokładność kontroli optycznej

Klient zainstalował sprzęt do kontroli optycznej (spektrometry, interferometry laserowe) poza komorą, wymagając niezwykle niskiej chropowości powierzchni i wysokiej dokładności obrazu powierzchni.Produkty byłego dostawcy spełniały jedynie ogólną jakość powierzchni klasy przemysłowej (S/D 80/50), z znaczącymi stratami rozpraszania, które pogarszały stosunek sygnału do hałasu w wykrywaniu optycznym.

Nasze ukierunkowane rozwiązania i zalety

1Wysokiej czystości materiał krzemianowy z szerokopasmową wysoką przepuszczalnością

Wybraliśmy materiał z wysokiej czystości stopionej krzemiany (SiO2 ≥ 99,99%) o szerokopasmowej wysokiej przepuszczalności od głębokiego ultrafioletu (185 nm) do bliskiej podczerwieni (2500 nm).przepuszczalność w regionie DUV jest znacznie poprawiona, zapewniając dokładność i niezawodność w monitorowaniu procesu i inspekcji optycznej.

2Niski współczynnik rozszerzenia termicznego z doskonałą stabilnością cyklu termicznego

Współczynnik rozciągania cieplnego stopionego krzemionu jest zaledwie 5,4×10−7/°C, znacznie niższy niż w przypadku standardowego szkła.zmiany wymiarowe są minimalne, zapewniając doskonałe dopasowanie termiczne z metalowymi kołnierzami i eliminując ryzyko pęknięć pod wpływem naprężenia.

3Wysoka czystość, niska zawartość zanieczyszczeń, zapewniające czystość środowiska próżniowego

Wybierz materiał z niskohydroksylowego roztopionego krzemionu, którego zawartość zanieczyszczeń metalicznych jest kontrolowana na poziomie ppb. W warunkach wysokotemperaturowego próżni nie występuje wydzielanie gazu ani zanieczyszczenie,całkowicie spełniające rygorystyczne wymagania dotyczące czystości komory w procesach etsu i osadzenia półprzewodników.

Wyniki współpracy i opinie klientów

1Dokładność monitorowania procesów znacznie wzrosła

Po zastosowaniu wysokiej czystości okien z roztopionego krzemionu, klient może wyraźnie obserwować rozkład plazmy i warunki powierzchni płytki w komorze podczas procesów etsu plazmowego.Zwiększona o około 25% terminowość dostosowywania parametrów procesu, przy czym wydajność płytek wzrosła o około 3%.

2Żywotność okien znacznie wydłużona

Fused silica windows have been operating continuously in semiconductor vacuum chambers for over 18 months without stress cracks or transmittance degradation—more than 3 times the service life of standard glass windowsKoszty utrzymania i przestojówki linii produkcyjnych zostały znacznie zmniejszone.

3Jakość sygnału optycznego optymalizowana.

Wykończenie powierzchniowe optycznego stopnia (Ra < 1 nm, S/D 40/20) znacznie zmniejsza straty rozpraszania światła.zapewnienie dokładniejszego wsparcia danych w czasie rzeczywistym dla kontroli procesów.

4Stabilne powtarzające się zamówienia hurtowe

Po pomyślnym zamówieniu próbnym na 200 sztuk klient podpisał roczną umowę ramową o średnim miesięcznym zamówieniu na 200-300 sztuk.Okna obserwacyjne z roztopionego krzemionu zostały włączone do standardowego katalogu zakupów komponentów klienta.