October 18, 2025
Rury kwarcowe o dużej średnicy zazwyczaj odnoszą się do tych o średnicy zewnętrznej większej niż 100 mm, a nawet do 500 mm lub większej. Ze względu na swoje unikalne właściwości fizyczne i chemiczne, mają one niezastąpione zastosowania w wielu zaawansowanych przemysłowych i technologicznych dziedzinach.
Lianyungang Shengfan Quartz Product Co.,Ltd jest profesjonalnym producentem produktów kwarcowych,może wspierać niestandardowe rozwiązania.
Firma dysponuje dojrzałymi liniami produkcyjnymi do obróbki ogniowej oraz zespołem badawczo-rozwojowym, w tym liniami produkcyjnymi do obróbki rur kwarcowych o dużej średnicy, liniami produkcyjnymi instrumentów kwarcowych, liniami produkcyjnymi łodzi kwarcowych, liniami produkcyjnymi części spawalniczych dla fotowoltaiki i półprzewodników itp. Firma jest również wyposażona w kompletny zestaw urządzeń do obróbki na zimno.
Dla linii produkcyjnych do obróbki rur kwarcowych o dużej średnicy, firma może wykonać maksymalną średnicę OD 1000 mm, długość 5000 mm. Tolerancja średnicy może wynosić najlepiej +/-0,2 mm, płaskość +/-0,2 mm.
Główne zastosowanie rur kwarcowych o dużej średnicy to:
1. Przemysł półprzewodników:
W produkcji chipów, rury kwarcowe są kluczowymi materiałami eksploatacyjnymi dla procesów takich jak dyfuzja, utlenianie i wyżarzanie.
· Rury do pieców dyfuzyjnych poziomych: Jest to najbardziej klasyczne zastosowanie. Rury kwarcowe o dużej średnicy służą jako komora reakcyjna, a wewnątrz rur umieszcza się płytki krzemowe. W warunkach wysokiej temperatury wprowadza się specjalne gazy (takie jak tlen, azot, argon itp.), aby przeprowadzić utlenianie termiczne w celu utworzenia warstwy dwutlenku krzemu lub wprowadzić zanieczyszczenia w celu modyfikacji właściwości elektrycznych krzemu. Średnica rur pieca musi być wystarczająco duża, aby pomieścić "łódź kwarcową", która przenosi dużą liczbę płytek krzemowych.
· Piec rurowy pionowy: Wraz z postępem technologii, proces pionowy stał się dominujący. Tutaj rury kwarcowe o dużej średnicy służą jako komory procesowe, a płytki krzemowe umieszcza się pionowo wewnątrz rur do procesów takich jak LPCVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej pod niskim ciśnieniem) i dyfuzja. Procesy te mają bardzo wysokie wymagania dotyczące okrągłości, pionowości i jakości wewnętrznej rur kwarcowych.
![]()
2. Przemysł fotowoltaiczny (produkcja ogniw słonecznych)
Podobnie jak w przemyśle półprzewodników, jest używany do produkcji ogniw krzemowych klasy solarnej.